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专利号:CN202010894940.5
公布日:2022-11-29
申请人:上海华力微电子有限公司
专利号:CN202011486066.8
公布日:2021-04-06
专利号:CN201811607276.0
公布日:2019-04-26
申请人:上海华力集成电路制造有限公司
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