搜索结果(共计:9条)
专利号:CN202211700346.3
公布日:2023-06-23
申请人:吉林大学
专利号:CN201811209762.7
公布日:2019-03-22
申请人:哈尔滨工业大学
专利号:CN201611246788.X
公布日:2017-10-10
申请人:吉林大学
专利号:CN201320732398.9
公布日:2014-11-05
申请人:赵建武;张志华
专利号:CN201310581885.4
公布日:2014-03-12
申请人:赵建武;张志华
专利号:CN201210195700.1
公布日:2014-01-01
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN201010521098.7
公布日:2012-05-16
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN200910241612.9
公布日:2011-06-01
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN200810240102.5
公布日:2010-06-23
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司