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专利号:CN202310890328.4
公布日:2023-10-13
申请人:应用材料公司
专利号:CN201980024571.X
公布日:2023-07-25
专利号:CN201980005304.8
公布日:2020-06-09
专利号:CN200980154723.4
公布日:2011-12-14
申请人:应用材料股份有限公司
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