搜索结果(共计:30条)
专利号:CN202011256795.4
公布日:2023-03-14
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN202121749330.2
公布日:2021-12-24
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201811163136.9
公布日:2021-11-05
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201610934037.0
公布日:2020-05-01
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201611073752.6
公布日:2019-09-17
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201810097054.2
公布日:2019-08-06
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201821238233.5
公布日:2019-01-25
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201510646618.X
公布日:2019-01-18
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
专利号:CN201610284287.4
公布日:2019-01-18
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201410171065.2
公布日:2018-03-02
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201410139202.4
公布日:2017-06-27
申请人:上海微电子装备有限公司
专利号:CN201310173132.X
公布日:2017-06-27
申请人:上海微电子装备有限公司
专利号:CN201410011374.3
公布日:2017-06-27
申请人:上海微电子装备有限公司
专利号:CN201310612785.3
公布日:2017-02-15
申请人:上海微电子装备有限公司
专利号:CN201310670314.8
公布日:2017-01-25
申请人:上海微电子装备有限公司