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专利号:CN202110947681.2
公布日:2023-04-04
申请人:中国科学院微电子研究所
专利号:CN202110947682.7
公布日:2023-02-21
申请人:中国科学院微电子研究所
专利号:CN202110628797.X
公布日:2022-12-06
申请人:中国科学院微电子研究所
专利号:CN202110922815.5
公布日:2021-10-22
申请人:鞠岳军;宗晓军;唐珂;赵明霞;蔡忠保;司鹏举;王刚;孙庆龙;王琨玉;于鹏;郑涛;张海山;崔久超;陆阳;刘远辉