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专利号:CN202311015954.5
公布日:2023-10-20
申请人:理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司;合肥瑞硕科技有限公司
专利号:CN202320953079.4
公布日:2023-10-20
申请人:理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202220435797.8
公布日:2022-08-09
申请人:上海理想万里晖薄膜设备有限公司
专利号:CN202220254354.9
公布日:2022-07-05
申请人:上海理想万里晖薄膜设备有限公司