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专利号:CN201480015209.3
公布日:2016-01-27
申请人:一般财团法人微机械中心
专利号:CN201380054720.X
公布日:2015-07-08
申请人:独立行政法人产业技术总合研究所;一般财团法人MICROMACHINECENTER
专利号:CN03138275.4
公布日:2004-01-21
申请人:松下电工株式会社
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