搜索结果(共计:5条)
专利号:CN201910476413.X
公布日:2021-11-16
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201811190578.2
公布日:2021-06-18
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910466953.X
公布日:2021-06-15
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910582713.6
公布日:2019-09-24
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910479259.1
公布日:2019-09-06
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)