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专利号:CN202210208853.9
公布日:2023-10-20
申请人:中科仪(南通)半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
专利号:CN202310509074.7
公布日:2023-09-12
申请人:中科仪(南通)半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
专利号:CN202111627054.7
公布日:2022-12-16
申请人:中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
专利号:CN202123275175.8
公布日:2022-07-15
申请人:中科仪(南通)半导体设备有限责任公司