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专利号:CN201480015209.3
公布日:2016-01-27
申请人:一般财团法人微机械中心
专利号:CN201380054720.X
公布日:2015-07-08
申请人:独立行政法人产业技术总合研究所;一般财团法人MICROMACHINECENTER
专利号:CN02151387.2
公布日:2003-07-09
申请人:株式会社日立制作所
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