搜索结果(共计:8条)
专利号:CN202111653272.8
公布日:2023-07-11
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202111589387.5
公布日:2023-06-27
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202111262182.6
公布日:2023-05-02
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202111141067.3
公布日:2023-03-31
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202230467145.8
公布日:2023-03-31
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202222364888.X
公布日:2023-02-03
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202230467144.3
公布日:2022-11-01
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201910416849.X
公布日:2019-08-27
申请人:华中科技大学