搜索结果(共计:8条)
专利号:CN202310876087.8
公布日:2023-10-27
申请人:上海图双精密装备有限公司
专利号:CN202310920860.6
公布日:2023-08-29
申请人:上海图双精密装备有限公司
专利号:CN201911174653.0
公布日:2023-02-21
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201811141969.5
公布日:2021-10-01
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201811385338.8
公布日:2021-09-17
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201210405867.6
公布日:2013-02-27
申请人:上海交通大学
专利号:CN201210405936.3
公布日:2013-02-27
申请人:上海交通大学
专利号:CN201210345777.2
公布日:2013-02-06
申请人:上海交通大学