搜索结果(共计:24条)
专利号:CN201880078139.4
公布日:2023-10-27
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN202080083233.6
公布日:2022-07-15
申请人:应用材料股份有限公司
专利号:CN201980041813.6
公布日:2021-02-05
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201880048752.1
公布日:2020-03-31
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201580065761.8
公布日:2019-12-31
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201710893518.6
公布日:2019-11-05
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201480070125.X
公布日:2017-10-31
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201280004865.4
公布日:2013-09-18
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201080051532.8
公布日:2013-03-13
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201080020257.3
公布日:2012-04-25
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200980104251.1
公布日:2011-01-05
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200880109201.8
公布日:2010-08-18
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200880015242.0
公布日:2010-03-24
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200780052552.5
公布日:2010-03-24
申请人:瓦里安半导体设备公司;东北大学
专利号:CN200780050199.7
公布日:2010-01-20
申请人:瓦里安半导体设备公司