搜索结果(共计:12条)
专利号:CN201410681898.3
公布日:2018-10-16
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410323157.8
公布日:2018-06-26
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410272583.3
公布日:2018-06-22
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410438531.9
公布日:2017-12-12
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410272606.0
公布日:2017-11-03
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201280059896.X
公布日:2017-09-08
申请人:夏普株式会社;国立大学法人山口大学
专利号:CN201180068639.8
公布日:2017-05-10
申请人:夏普株式会社
专利号:CN201410838723.9
公布日:2016-07-20
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410272984.9
公布日:2015-12-30
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201210364958.X
公布日:2013-01-30
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN200610149250.7
公布日:2007-05-30
申请人:夏普株式会社
专利号:CN200380110320.2
公布日:2006-05-10
申请人:夏普株式会社