搜索结果(共计:6条)
专利号:CN202310445670.3
公布日:2023-10-20
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202310456710.4
公布日:2023-09-05
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202310038274.9
公布日:2023-05-02
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202211731825.1
公布日:2023-04-07
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202211007001.X
公布日:2022-11-22
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202210404454.X
公布日:2022-07-15
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)