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专利号:CN202211241561.1
公布日:2023-04-14
申请人:杜邦电子公司;罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
专利号:CN202211243575.7
申请人:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;杜邦电子公司
专利号:CN201680043541.X
公布日:2021-02-09
申请人:E.I.内穆尔杜邦公司
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