[发明专利]MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路有效
| 申请号： | 201610357769.8 | 申请日： | 2016-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107449414B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈华;来强涛;郭桂良;韩荆宇;郭江飞;阎跃鹏 | 申请（专利权）人： | 中科芯未来微电子科技成都有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 610200 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，包括：MEMS陀螺敏感器件(101)、跨阻放大器(102)、反相放大器(103)、低通滤波器(104)和电阻分压器，其中，所述MEMS陀螺敏感器件(101)包括检测端和静电驱动端，所述检测端输出连接反相放大器(103)，反相放大器(103)后端接低通滤波器(104)，低通滤波器(103)后端连接至电阻分压器，所述电阻分压器输出接所述静电驱动端。该驱动电路为MEMS陀螺仪驱动系统提供一种简单、实用、高性能的解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 闭环 驱动 电路 | ||
【主权项】：
一种MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，其特征在于包括：MEMS陀螺敏感器件(101)、跨阻放大器(102)、反相放大器(103)、低通滤波器(104)和电阻分压器，其中，所述MEMS陀螺敏感器件(101)包括检测端和静电驱动端，所述检测端输出连接反相放大器(103)，反相放大器(103)后端接低通滤波器(104)，低通滤波器(103)后端连接至电阻分压器，所述电阻分压器输出接所述静电驱动端。
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