反应腔室的下电极机构及反应腔室

专利号：CN201710464985.7

公布日：2019-05-31

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

反应腔室的下电极机构及反应腔室

专利号：CN201710465809.5

公布日：2022-09-16

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

反应腔室的下电极机构及反应腔室

专利号：CN201720712788.8

公布日：2018-03-06

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

下电极机构及反应腔室

专利号：CN201710749263.6

公布日：2018-01-19

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

下电极结构及反应腔室

专利号：CN201811539932.8

公布日：2021-06-08

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

下电极装置及反应腔室

专利号：CN201810909820.0

公布日：2022-06-17

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

下电极组件及工艺腔室

专利号：CN202010614772.X

公布日：2022-10-21

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

下电极机构及反应腔室

专利号：CN201721082276.4

公布日：2018-06-26

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

腔室的内衬和腔室

专利号：CN201710357147.X

公布日：2021-03-02

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

腔室组件及反应腔室

专利号：CN201810457537.9

公布日：2021-01-08

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

腔室组件及反应腔室

专利号：CN201811511088.8

公布日：2022-07-22

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

腔室

专利号：CN201611061883.2

公布日：2018-06-05

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

一种下电极和反应腔室

专利号：CN201510872794.5

公布日：2019-08-23

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

叉指结构、下电极装置和工艺腔室

专利号：CN201810333256.2

公布日：2021-09-17

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

叉指结构、下电极装置和工艺腔室

专利号：CN201810333272.1

公布日：2021-12-17

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司