光阻剂分配系统及光阻剂的回收方法

专利号：CN201910572249.2

公布日：2022-04-15

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

一种高附着力的阻焊干膜光阻剂及其制备方法与应用

专利号：CN202310553051.6

公布日：2023-09-15

申请人：珠海市能动科技光学产业有限公司

一种阻焊干膜光阻剂、其制备方法及应用

专利号：CN202210223873.3

公布日：2022-08-12

申请人：珠海市能动科技光学产业有限公司

一种白色包装容器

专利号：CN202010471860.9

公布日：2021-12-03

申请人：内蒙古蒙牛乳业（集团）股份有限公司

一种光阻剂吸管及光阻瓶

专利号：CN202222134619.4

公布日：2022-12-13

申请人：广州粤芯半导体技术有限公司

利用光阻流修补针孔缺陷

专利号：CN01816179.0

公布日：2004-01-07

申请人：先进微装置公司

用于光阻剂的外涂层组合物及使用该组合物形成光阻剂图案的方法

专利号：CN200310120313.2

公布日：2004-07-14

申请人：海力士半导体有限公司

一种半导体光阻喷涂装置

专利号：CN202223272590.2

公布日：2023-08-01

申请人：杭州富芯半导体有限公司

制造半导体装置的方法

专利号：CN202210037764.2

公布日：2022-07-08

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

光阻剂涂布工艺、润湿溶剂筛选方法及润湿溶剂

专利号：CN201810173987.5

公布日：2018-07-31

申请人：睿力集成电路有限公司

用于形成半导体器件的微细图案的方法

专利号：CN200610167776.8

公布日：2007-08-29

申请人：海力士半导体有限公司

剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统

专利号：CN202023342825.1

公布日：2021-07-27

申请人：乐金显示光电科技（中国）有限公司

多重反应模式的混合负型光阻剂及形成光阻图案的方法

专利号：CN03101762.2

公布日：2004-08-11

申请人：财团法人工业技术研究院;长春人造树脂厂股份有限公司

用于制造半导体装置的方法和系统

专利号：CN202210351753.1

公布日：2022-12-27

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

一种包装容器

专利号：CN202010481661.6

公布日：2021-12-03

申请人：内蒙古蒙牛乳业（集团）股份有限公司