彩膜基板及其制作方法、显示装置

专利号：CN201910370806.2

公布日：2021-05-25

申请人：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司

一种防止光阻回流的装置

专利号：CN201821646630.6

公布日：2019-04-05

申请人：沈阳芯源微电子设备有限公司

一种防止光阻回流的装置及其使用方法

专利号：CN201811182231.3

公布日：2020-04-21

申请人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

在凹槽中形成光阻图形的方法、沟槽隔离结构及其制作方法

专利号：CN201410415009.9

公布日：2019-01-29

申请人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

带有可锁定遮光板的胶卷暗盒

专利号：CN95100023.3

公布日：1996-04-24

申请人：伊斯曼柯达公司

通过光阻剥离实现电极层图案化的方法

专利号：CN201810074903.2

公布日：2020-09-01

申请人：深圳市华星光电技术有限公司

光阻浓度的控制装置及控制方法

专利号：CN201710617397.2

公布日：2021-03-16

申请人：武汉华星光电技术有限公司

一种光阻胶供给系统及涂布机

专利号：CN201810099599.7

公布日：2020-06-23

申请人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司

形成纳米结构的方法

专利号：CN201110119659.5

公布日：2012-07-11

申请人：铼德科技股份有限公司

双光阻墙光罩

专利号：CN201120003504.0

公布日：2011-08-31

申请人：昆山西钛微电子科技有限公司

涂布机光阻回收系统

专利号：CN201810962122.7

公布日：2018-12-11

申请人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司

光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备

专利号：CN201821722333.5

公布日：2019-06-18

申请人：惠科股份有限公司

光阻管路及光阻涂布设备

专利号：CN201610885970.3

公布日：2016-12-21

申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司

多阶段烘烤光阻以改善光刻品质的方法

专利号：CN02121962.1

公布日：2003-12-24

申请人：旺宏电子股份有限公司

薄膜蚀刻方法及阵列基板的制作方法

专利号：CN202111383275.4

公布日：2022-02-25

申请人：昆山龙腾光电股份有限公司