关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片

专利号：CN201822071934.0

公布日：2019-06-07

申请人：德淮半导体有限公司

一种与扫描电镜联用的原位疲劳测试系统

专利号：CN202210806123.9

公布日：2022-09-20

申请人：浙江大学

基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置

专利号：CN202211659327.0

公布日：2023-05-16

申请人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司

高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备

专利号：CN202211658956.1

公布日：2023-05-02

申请人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司

一种使PLC耦合对准平行装置

专利号：CN201220188736.2

公布日：2013-04-03

申请人：新中合光电科技（保靖）有限公司

利用扫描式电子显微镜观测表面不含导电层的样品的方法

专利号：CN202010484280.3

公布日：2021-12-07

申请人：宸鸿科技（厦门）有限公司

一种电动显微镜系统

专利号：CN202223103596.7

公布日：2023-04-25

申请人：莅时智能科技（上海）有限公司

对准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质

专利号：CN202211397566.3

公布日：2023-02-03

申请人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司

使用扫描电子显微镜的检查系统

专利号：CN201310205662.8

公布日：2017-12-29

申请人：三星显示有限公司

基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置

专利号：CN202211060150.2

公布日：2023-04-14

申请人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司

一种扫描电子显微镜像散的校正方法

专利号：CN03141806.6

公布日：2004-02-11

申请人：上海市计量测试技术研究院

一种扫描电子显微镜能谱仪用测试夹具及测试方法

专利号：CN202010257508.5

公布日：2021-10-12

申请人：全球能源互联网研究院有限公司

一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法

专利号：CN201611218565.2

公布日：2019-12-17

申请人：华中科技大学

涂层材料原位拉伸观测系统

专利号：CN201910369195.X

公布日：2019-06-28

申请人：中国人民解放军陆军装甲兵学院

一种扫描电子显微镜有效镀金的植纹鉴定方法

专利号：CN202010701112.5

公布日：2020-11-03

申请人：吉林大学