抛光处理装置、基板处理装置及抛光处理方法

专利号：CN201510651437.6

公布日：2019-05-28

申请人：株式会社荏原制作所

抛光处理组件、基板处理装置及抛光垫清洗方法

专利号：CN201510532601.1

公布日：2019-08-06

申请人：株式会社荏原制作所

修正部、抛光处理组件、基板处理装置及修整冲洗方法

专利号：CN201910539068.X

公布日：2021-10-08

申请人：株式会社荏原制作所

一种液压油缸表面处理用抛光机

专利号：CN202320092196.6

公布日：2023-04-11

申请人：鼎业智能科技（江苏）有限公司

一种大米抛光残渣处理去尘装置

专利号：CN201811097663.4

公布日：2020-12-22

申请人：湖北昌丰粮机有限公司

铝材的电解抛光处理方法

专利号：CN201711320047.6

公布日：2018-05-22

申请人：日本轻金属株式会社

铝材的电解抛光处理方法

专利号：CN201480069286.7

公布日：2016-08-03

申请人：日本轻金属株式会社

一种应用于线材在线酸洗设备中的线材抛光装置

专利号：CN201120298261.8

公布日：2012-05-02

申请人：芜湖楚江合金铜材有限公司

晶圆抛光方法

专利号：CN201911348422.7

公布日：2021-06-29

申请人：深圳佰维存储科技股份有限公司

一种改善硅片R型轮廓的边缘抛光工艺

专利号：CN202111502766.6

公布日：2022-04-08

申请人：山东有研艾斯半导体材料有限公司

一种新能源汽车钢制轮毂表面抛光处理方法

专利号：CN202010924772.X

公布日：2020-11-24

申请人：刘先平

半导体晶片的生产方法和处理方法

专利号：CN201010143294.5

公布日：2010-12-22

申请人：硅电子股份公司

一种半导体材料晶片的抛光方法

专利号：CN202211359644.0

公布日：2023-01-13

申请人：深圳市冠禹半导体有限公司

一种铜材抛光预处理液、其制备方法及使用方法

专利号：CN202010067499.3

公布日：2020-05-12

申请人：东莞市美贝仕铜材处理剂开发有限公司

研磨装置及处理方法

专利号：CN201510640665.3

公布日：2020-11-06

申请人：株式会社荏原制作所