抛光液输送装置

专利号：CN201110306986.1

公布日：2012-02-01

申请人：清华大学

一种抛光液冷却桶

专利号：CN202021475921.0

公布日：2021-02-26

申请人：北京特思迪半导体设备有限公司

一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置

专利号：CN201520527990.4

公布日：2015-12-02

申请人：麦斯克电子材料有限公司

一种抛光液加热装置

专利号：CN201811036282.5

公布日：2018-12-18

申请人：汪条英

抛光液加热装置

专利号：CN201620059675.8

公布日：2016-06-29

申请人：苏州新美光纳米科技有限公司

抛光液加热装置及抛光温度控制方法

专利号：CN201610040624.5

公布日：2016-05-04

申请人：苏州新美光纳米科技有限公司

一种等离子液体纳米抛光用的抛光液恒温装置

专利号：CN202222086731.5

公布日：2022-11-18

申请人：中唯精密工业有限公司

一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备

专利号：CN202110499303.2

公布日：2021-09-28

申请人：华海清科（北京）科技有限公司

抛光液输送装置和化学机械抛光设备

专利号：CN202110498959.2

公布日：2021-09-28

申请人：华海清科股份有限公司

一种用于等离子液体纳米抛光的补液装置

专利号：CN202222081163.X

公布日：2022-11-04

申请人：中唯精密工业有限公司

碳化硅抛光液重复回收系统

专利号：CN202320458534.3

公布日：2023-08-22

申请人：通威微电子有限公司

一种模液切换装置

专利号：CN202320640116.6

公布日：2023-08-08

申请人：福建精工半导体有限公司

用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置

专利号：CN201320023394.3

公布日：2013-08-14

申请人：中国电子科技集团公司第四十五研究所

一种单晶硅片抛光液回收过滤装置

专利号：CN202022957644.3

公布日：2021-08-06

申请人：襄阳市众力电子有限公司

一种抛光装置

专利号：CN202320307444.4

公布日：2023-07-18

申请人：北京亦盛精密半导体有限公司