具有位于透明基层上方的包括孔口或开口的抛光表面层的抛光垫

专利号：CN201380041299.9

公布日：2018-02-02

申请人：嘉柏微电子材料股份公司

化学机械抛光垫以及化学机械抛光方法

专利号：CN200410064056.X

公布日：2005-03-09

申请人：JSR株式会社

抛光装置与抛光方法

专利号：CN02810852.3

公布日：2004-07-14

申请人：株式会社荏原制作所

基片抛光机

专利号：CN02813831.7

公布日：2004-09-01

申请人：株式会社荏原制作所

化学机械抛光的温度控制

专利号：CN201980006568.5

公布日：2020-08-07

申请人：应用材料公司

具有金属光泽的壳体外观件加工工艺

专利号：CN201510083541.X

公布日：2017-11-14

申请人：广东欧珀移动通信有限公司

具有基层和抛光表面层的抛光垫

专利号：CN201610217648.3

公布日：2019-10-25

申请人：嘉柏微电子材料股份公司

具有基层和抛光表面层的抛光垫

专利号：CN201280058372.9

公布日：2017-11-14

申请人：嘉柏微电子材料股份公司

抛光研磨盘和抛光装置

专利号：CN201210430732.5

公布日：2013-01-16

申请人：昆山市大金机械设备厂

一种抛光垫

专利号：CN201921850915.6

公布日：2020-07-14

申请人：凯吉斯金刚石（广州）有限公司

用于化学机械抛光的纹理化的小垫

专利号：CN201780019865.4

公布日：2018-11-23

申请人：应用材料公司

抛光拓展装置及抛光机

专利号：CN202222803997.7

公布日：2023-03-17

申请人：上海传芯半导体有限公司

以水枪辅助执行化学机械抛光处理程序的方法及其系统

专利号：CN201010180287.2

公布日：2010-11-17

申请人：宋健民

抛光衬底的方法和装置

专利号：CN200980141563.X

公布日：2011-09-14

申请人：株式会社荏原制作所

覆盖窗、包括覆盖窗的显示装置及制造覆盖窗的方法

专利号：CN201710754075.2

公布日：2022-08-05

申请人：三星显示有限公司