一种气体传感器件的制造、处理气氛确定方法及器件

专利号：CN202110263487.2

公布日：2022-09-20

申请人：中国科学院微电子研究所

敏感器件结构及其制备方法以及半导体器件

专利号：CN202210174525.1

公布日：2022-05-27

申请人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司

一种改善敏感材料传感选择性的方法

专利号：CN202210513857.8

公布日：2022-09-06

申请人：有研工程技术研究院有限公司

面向电力设备故障特征气体在线监控的气体敏感元件及其制备方法

专利号：CN202010734913.1

公布日：2020-11-17

申请人：浙江泰仑电力集团有限责任公司;国网浙江省电力有限公司湖州供电公司;武汉南瑞电力工程技术装备有限公司;国网电力科学研究院武汉南瑞有限责任公司

气体敏感元件防结露方法及装置

专利号：CN201010530163.2

公布日：2011-02-16

申请人：煤炭科学研究总院重庆研究院

一种金属氧化物半导体气体传感器及其制作方法

专利号：CN201711447455.8

公布日：2020-10-16

申请人：武汉微纳传感技术有限公司

气体传感器及其制备方法和调控气体传感器性能的方法

专利号：CN202010284655.1

公布日：2020-08-18

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

微型集成式气体传感器

专利号：CN201922388339.4

公布日：2020-08-14

申请人：安徽芯淮电子有限公司

基于MEMS集成式的气体传感器及其制作方法

专利号：CN201911371286.3

公布日：2020-07-31

申请人：安徽芯淮电子有限公司

用于制造纳米晶的、气体敏感的层结构的方法，相应的纳米晶的、气体敏感的层结构和具有相应的纳米晶的、气体敏感的层结构的气体传感器

专利号：CN201880047993.4

公布日：2020-04-03

申请人：罗伯特·博世有限公司

气体传感器装置和用于制造气体传感器装置的方法

专利号：CN201811010522.4

公布日：2019-03-05

申请人：罗伯特·博世有限公司

一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器

专利号：CN201210419731.0

公布日：2013-02-20

申请人：天津理工大学

气体敏感元件防结露装置

专利号：CN201020589604.1

公布日：2011-06-15

申请人：煤炭科学研究总院重庆研究院

用于检测环境中的目标气体的气体传感器

专利号：CN201880062961.1

公布日：2020-05-08

申请人：住友化学株式会社

气体传感器

专利号：CN201210465216.6

公布日：2013-02-06

申请人：尚沃医疗电子无锡有限公司