暗场检测装置

专利号：CN202010970259.4

公布日：2022-06-28

申请人：上海微电子装备（集团）股份有限公司

暗场检测装置

专利号：CN200980100216.2

公布日：2010-09-15

申请人：株式会社SNU精密

一种光学检测装置

专利号：CN201821933590.3

公布日：2019-07-19

申请人：大连明和光电有限公司

应用于表面检测的亮暗场视觉装置及检测设备

专利号：CN202123272123.5

公布日：2022-09-13

申请人：创新奇智（北京）科技有限公司

一种暗场照明装置和照明方法

专利号：CN202211561885.3

公布日：2023-05-02

申请人：睿励科学仪器（上海）有限公司

一种光学检测设备

专利号：CN202320433554.5

公布日：2023-08-29

申请人：深圳中科飞测科技股份有限公司

快速建立暗场缺陷扫描检测体系的方法

专利号：CN202310505133.3

公布日：2023-07-07

申请人：粤芯半导体技术股份有限公司

检测装置

专利号：CN201822086565.2

公布日：2019-08-27

申请人：深圳中科飞测科技有限公司

一种缺陷检测装置和检测方法

专利号：CN202211386401.6

公布日：2023-03-21

申请人：睿励科学仪器（上海）有限公司

一种盖板终检AOI设备及其检测方法

专利号：CN202010579282.0

公布日：2020-09-25

申请人：东莞市鼎力自动化科技有限公司

检测装置和检测设备

专利号：CN202122760441.X

公布日：2022-06-24

申请人：深圳中科飞测科技股份有限公司

一种盖板终检AOI设备

专利号：CN202021178933.7

公布日：2021-01-19

申请人：东莞市鼎力自动化科技有限公司

检测装置及检测方法

专利号：CN202211364029.9

公布日：2023-04-04

申请人：富翔精密工业（昆山）有限公司

自动灯检机异物检测装置

专利号：CN201310417127.9

公布日：2018-04-27

申请人：楚天科技股份有限公司

自动灯检机异物检测装置

专利号：CN201320568375.9

公布日：2014-03-19

申请人：楚天科技股份有限公司