一种循环式溅镀设备

专利号：CN201920733692.9

公布日：2020-01-24

申请人：盱眙新远光学科技有限公司

一种溅镀方法及溅镀设备

专利号：CN200810097817.X

公布日：2008-09-10

申请人：东莞宏威数码机械有限公司

一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺

专利号：CN202011412846.8

公布日：2021-03-30

申请人：海珀（滁州）材料科技有限公司

溅镀靶材

专利号：CN200610078102.0

公布日：2007-10-31

申请人：胜华科技股份有限公司

提高溅镀靶使用率的预溅镀方法

专利号：CN02132280.5

公布日：2004-03-10

申请人：瀚宇彩晶股份有限公司

溅镀装置

专利号：CN201120273726.4

公布日：2012-04-11

申请人：华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司

一种塑胶管材溅镀方法

专利号：CN201810989043.5

公布日：2020-08-18

申请人：佛山市顺德区侨晟绝缘材料有限公司

溅镀系统

专利号：CN202011148944.5

公布日：2022-11-11

申请人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司

一种BGA电磁屏蔽产品的磁控溅射方法

专利号：CN201911266209.1

公布日：2021-07-27

申请人：江苏长电科技股份有限公司

一种塑胶管材溅镀系统

专利号：CN201810989064.7

公布日：2020-07-31

申请人：铜陵市兆林工贸有限责任公司

一种高精密度石英晶片溅镀装置

专利号：CN201420573418.7

公布日：2015-01-28

申请人：东晶锐康晶体（成都）有限公司

一种全自动溅镀装置

专利号：CN201920728459.1

公布日：2020-04-14

申请人：盱眙新远光学科技有限公司

双面一次成膜真空离子溅镀机

专利号：CN200420024850.7

公布日：2005-08-10

申请人：林政乾;戴明光

一种真空腔体泄漏自动侦测方法

专利号：CN202010610511.0

公布日：2020-09-29

申请人：联立（徐州）半导体有限公司

一种溅镀机及其溅镀工艺

专利号：CN201810909132.4

公布日：2020-02-21

申请人：无锡变格新材料科技有限公司