一种电主轴热漂移的控制装置、补偿方法及划片机

专利号：CN201110377546.5

公布日：2013-06-05

申请人：北京中电科电子装备有限公司

基于热建模的热漂移校正

专利号：CN202211612347.2

公布日：2023-06-16

申请人：FEI 公司

一种卧式数控车床的主轴径向热漂移误差建模及补偿方法

专利号：CN201711075362.7

公布日：2019-08-13

申请人：大连理工大学

LDMOS器件及其制作方法

专利号：CN201410065295.0

公布日：2015-08-26

申请人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

一种数控机床半闭环进给轴的原点热漂移误差测试及建模方法

专利号：CN201710311176.2

公布日：2019-03-05

申请人：大连理工大学

一种考虑温度影响的压阻式压力传感器设计方法

专利号：CN202111078457.0

公布日：2022-02-01

申请人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司

用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法

专利号：CN201110053279.6

公布日：2012-09-19

申请人：上海微电子装备有限公司

一种星敏感器温场测量和指向温漂补偿方法

专利号：CN201810461071.X

公布日：2019-12-20

申请人：北京控制工程研究所

一种用于测量干涉镜组热漂移系数的测量系统和方法

专利号：CN201810007423.4

公布日：2018-06-29

申请人：哈尔滨工业大学

降低光刻投影物镜环境热效应影响的方法

专利号：CN201410729220.8

公布日：2016-06-08

申请人：上海微电子装备有限公司

DMOS器件及制造方法

专利号：CN201010227093.3

公布日：2012-02-01

申请人：上海华虹NEC电子有限公司

检测红外辐射的器件、系统及读取电阻测辐射热计的方法

专利号：CN200910166834.9

公布日：2010-03-24

申请人：ULIS股份公司

光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置

专利号：CN202010872416.8

公布日：2022-11-15

申请人：中国电子科技集团公司第十三研究所

一种变温热解析装置

专利号：CN202223373610.5

公布日：2023-05-02

申请人：上海新禾嘉楷科技有限公司

改善RFLDMOS击穿电压的工艺方法

专利号：CN201610674993.X

公布日：2019-10-11

申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司