一种大功率脉冲负载的电源适应性电路

专利号：CN201810700015.7

公布日：2020-07-28

申请人：中国电子科技集团公司第二十九研究所

电感耦合等离子体处理系统及处理方法

专利号：CN201510253305.8

公布日：2018-10-16

申请人：中微半导体设备（上海）有限公司

射频电源系统

专利号：CN202123390838.0

公布日：2022-06-17

申请人：深圳市恒运昌真空技术有限公司

电感耦合等离子体处理系统及处理方法

专利号：CN201510253317.0

公布日：2018-10-16

申请人：中微半导体设备（上海）有限公司

4.0‑5.0GHz、8W的GaN单片功率放大器

专利号：CN201620698086.4

公布日：2016-12-21

申请人：成都泰格微电子研究所有限责任公司

使用电子可变电容器的交互调变失真减缓器

专利号：CN202080066047.1

公布日：2022-05-06

申请人：MKS仪器有限公司

感应耦合等离子体蚀刻系统及其切换式匹配装置

专利号：CN201910412317.9

公布日：2021-09-21

申请人：洪再和

一种射频电源系统的阻抗匹配方法、装置及电源系统

专利号：CN202211388051.7

公布日：2023-01-17

申请人：深圳市恒运昌真空技术有限公司

一种功放阻抗自动调节电路及功放电路

专利号：CN201610503809.5

公布日：2016-12-21

申请人：苏州能讯高能半导体有限公司

使用RF功率传递的时间分解调频方案以用于脉冲等离子体工艺的方法及设备

专利号：CN200980117820.6

公布日：2011-04-20

申请人：应用材料股份有限公司

2．7-3．5GHz 2W GaN单片功率放大器及设计方法

专利号：CN201610521322.X

公布日：2019-02-15

申请人：成都泰格微电子研究所有限责任公司

4.0-5.0GHz 8W GaN单片功率放大器及设计方法

专利号：CN201610521460.8

公布日：2019-02-15

申请人：成都泰格微电子研究所有限责任公司

阻抗匹配网络调节方法

专利号：CN202111640705.6

公布日：2022-05-13

申请人：深圳市恒运昌真空技术有限公司

阻抗匹配装置及半导体加工设备

专利号：CN201710325459.2

公布日：2020-08-21

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

用于电源电路的输入匹配网络

专利号：CN201410106634.5

公布日：2017-03-01

申请人：英飞凌科技股份有限公司