一种硅片装载机构及硅片装载方法

专利号：CN201810879746.2

公布日：2020-02-14

申请人：君泰创新(北京)科技有限公司

一种硅片装载机构

专利号：CN201821253153.7

公布日：2019-03-26

申请人：君泰创新（北京）科技有限公司

硅片装载系统及半导体加工设备

专利号：CN202211613083.2

公布日：2023-04-25

申请人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

一种太阳能硅片的粘着装置

专利号：CN201120261344.X

公布日：2012-04-11

申请人：江阴市爱多光伏科技有限公司

一种硅片用的烘干装置

专利号：CN202110161800.1

公布日：2021-05-11

申请人：苏州赛森电子科技有限公司

一种硅片缓冲装载装置

专利号：CN201210479223.1

公布日：2013-07-24

申请人：北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所

装卸装置、方法及硅片双面抛光设备

专利号：CN202211690624.1

公布日：2023-03-31

申请人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

一种离子注入机硅片背面注入专用装载盘

专利号：CN202222989158.9

公布日：2023-04-07

申请人：无锡凯世通科技有限公司

应用于化学机械抛光设备中的硅片定位装载装置

专利号：CN201010249958.6

公布日：2012-03-14

申请人：中国电子科技集团公司第四十五研究所

自动化硅片输送装置

专利号：CN201911133108.7

公布日：2020-01-21

申请人：安徽英发睿能科技股份有限公司

自动化硅片输送装置

专利号：CN201922008552.8

公布日：2020-05-26

申请人：安徽英发睿能科技股份有限公司

一种片材装卸设备、其控制方法及太阳能电池生产线

专利号：CN201611199178.9

公布日：2020-01-14

申请人：新奥光伏能源有限公司

一种丝网印刷设备传送用的载片牙齿

专利号：CN201220027504.9

公布日：2012-09-19

申请人：保定天威英利新能源有限公司

硅片对准装置及硅片对准方法

专利号：CN202110874644.3

公布日：2023-02-03

申请人：上海微电子装备（集团）股份有限公司

一种石英舟

专利号：CN202221375001.0

公布日：2022-11-22

申请人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司