磁控溅射镀膜装置及其工作方法

专利号：CN202010196863.6

公布日：2021-10-12

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

一种真空镀膜设备

专利号：CN201810457470.9

公布日：2020-02-14

申请人：湖南菲尔姆真空设备有限公司

磁控溅射镀膜设备及镀膜方法

专利号：CN202111250744.5

公布日：2022-01-11

申请人：上海哈呐技术装备有限公司

一种磁控溅射镀膜的生产工艺

专利号：CN201910310994.X

公布日：2019-06-18

申请人：广东东华光电科技有限公司

磁控溅射镀膜装置

专利号：CN202020354281.1

公布日：2021-01-19

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

一种双面真空磁控溅射绕卷镀膜装置

专利号：CN201920960186.3

公布日：2020-03-17

申请人：山东天厚新材料科技有限公司

磁控溅射镀膜工艺室

专利号：CN202222989956.1

公布日：2023-03-28

申请人：浙江生波智能装备有限公司

磁控溅射镀膜装置

专利号：CN202020352887.1

公布日：2021-01-19

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

一种磁控溅射机

专利号：CN202222671300.5

公布日：2023-04-28

申请人：上海哈呐技术装备有限公司

磁控溅射镀膜装置及其工作方法

专利号：CN202010197819.7

公布日：2021-10-12

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

一种稳定的磁控溅射镀膜机

专利号：CN202223134497.5

公布日：2023-03-21

申请人：沈阳硕科科技有限公司

一种双室磁控溅射电子束镀膜机

专利号：CN201620762959.3

公布日：2016-12-14

申请人：成都中科唯实仪器有限责任公司

一种磁控溅射镀膜机的散热结构

专利号：CN202320075230.9

公布日：2023-05-05

申请人：夜视丽新材料股份有限公司

一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置

专利号：CN201810019624.6

公布日：2018-05-08

申请人：吉林大学

磁控溅射制备导电薄膜的方法

专利号：CN201410039632.9

公布日：2017-01-18

申请人：江西沃格光电股份有限公司