用于等离子腔室部件的抗等离子涂层

专利号：CN200980144948.1

公布日：2011-10-05

申请人：应用材料公司

一种利用等离子涂层减小电磁波在金属表面反射的方法

专利号：CN201711099387.0

公布日：2021-06-04

申请人：上海无线电设备研究所

零部件、形成耐等离子体涂层的方法和等离子体反应装置

专利号：CN202010432447.1

公布日：2021-11-26

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

一种正弦形梯度微织构等离子涂层制备方法

专利号：CN202110697870.9

公布日：2021-10-01

申请人：中国石油大学胜利学院;中国石油大学（华东）;东营海森密封技术有限责任公司

一种微流控芯片等离子清洁及亲水涂层一体机

专利号：CN202320973766.2

公布日：2023-09-19

申请人：东莞恒川医疗科技有限公司

一种具有一连杆孔的连杆的制造方法

专利号：CN98807651.9

公布日：2004-08-18

申请人：大众汽车有限公司

通过等离子喷涂形成的物品

专利号：CN201380045025.7

公布日：2019-11-22

申请人：通用电气公司

使用等离子体处理技术的汽车涂层表面增强

专利号：CN200980141918.5

公布日：2011-11-09

申请人：巴斯夫涂料有限公司

半导体零部件、复合涂层形成方法和等离子体反应装置

专利号：CN202010819097.4

公布日：2022-02-22

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

一种等离子连续改性熔覆装置及操作方法

专利号：CN202010759694.2

公布日：2020-11-06

申请人：山东交通职业学院

一种吸热板涂层生产新装置

专利号：CN201720620289.6

公布日：2018-04-10

申请人：南宁可煜能源科技有限公司

使用等离子体火焰热处理的等离子体喷涂增强

专利号：CN201480042397.9

公布日：2016-03-23

申请人：应用材料公司

零部件、其形成涂层的方法及装置和等离子体反应装置

专利号：CN202010361061.6

公布日：2021-11-02

申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司

氮化钛涂层的制备方法、基材及应用

专利号：CN202011161747.7

公布日：2023-03-10

申请人：广东省科学院新材料研究所

用于在等离子体系统中使用的室组件的表面涂层

专利号：CN202210712529.0

公布日：2022-09-23

申请人：恩特格里斯公司