一种铝铜靶材及其焊接方法

专利号：CN201810632976.9

公布日：2018-11-06

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种高纯铝靶材组件的钎焊方法及高纯铝靶材组件

专利号：CN202010895263.9

公布日：2022-07-15

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法

专利号：CN201910956260.9

公布日：2019-12-20

申请人：新疆众和股份有限公司

一种高纯溅射用靶材电子束焊接工装及焊接工艺

专利号：CN202010485115.X

公布日：2020-08-07

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种用于高纯铝平面靶材磨削加工的电磁夹具

专利号：CN201920274980.2

公布日：2019-11-12

申请人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司

一种高纯铝靶材的焊接方法

专利号：CN202010392973.X

公布日：2022-04-15

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种高纯铝靶材的焊接方法

专利号：CN202010274941.X

公布日：2020-07-17

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种高纯铝硅靶材及其制备方法

专利号：CN202111091818.5

公布日：2023-04-07

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种旋转纯铝靶材及其制备方法

专利号：CN202310500916.2

公布日：2023-08-08

申请人：广东省科学院新材料研究所

一种高纯铝平面靶材磨削加工装置

专利号：CN202021124497.5

公布日：2021-04-20

申请人：宁波锦越新材料有限公司

一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法

专利号：CN202010527438.0

公布日：2021-12-28

申请人：新疆众和股份有限公司

靶材的制造方法

专利号：CN201610854357.5

公布日：2020-07-31

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法

专利号：CN201910736696.7

公布日：2021-06-01

申请人：中铝东南材料院（福建）科技有限公司;中铝瑞闽股份有限公司

一种改善高纯铝靶材内部组织的工艺方法

专利号：CN202111256311.0

公布日：2022-02-01

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

一种高纯铝平面靶材磨削装置

专利号：CN202021124465.5

公布日：2021-06-18

申请人：宁波锦越新材料有限公司