基板浮置装置及基板浮置方法

专利号：CN201710992216.4

公布日：2018-05-08

申请人：细美事有限公司

基板载置方法和基板载置机构

专利号：CN202110481063.3

公布日：2021-11-12

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置方法和基板载置机构

专利号：CN202211249558.4

公布日：2023-04-21

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置方法和基板载置装置

专利号：CN201710661418.0

公布日：2021-03-26

申请人：东京毅力科创株式会社

基板承置匣

专利号：CN201710785206.3

公布日：2019-03-05

申请人：明安国际企业股份有限公司

基板载置台

专利号：CN201580057094.9

公布日：2021-02-05

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置台

专利号：CN201811399185.2

公布日：2023-04-07

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置台

专利号：CN201110080782.0

公布日：2011-09-28

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置台

专利号：CN201080026572.7

公布日：2012-06-13

申请人：夏普株式会社

基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法

专利号：CN200910171076.X

公布日：2010-03-10

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置台、基板处理装置和基板载置台的制造方法

专利号：CN200610092303.6

公布日：2006-12-20

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置机构和使用该基板载置机构的基板处理装置

专利号：CN201010236453.6

公布日：2011-03-23

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置机构和具备该基板载置机构的基板处理装置

专利号：CN200810109823.2

公布日：2008-12-03

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置台的降温方法、计算机可读取的存储介质和基板处理系统

专利号：CN200980113330.9

公布日：2011-04-06

申请人：东京毅力科创株式会社

基板载置台及基板载置台的制作方法

专利号：CN201780060021.4

公布日：2019-05-21

申请人：日本发条株式会社