改善在晶圆上旋涂光刻胶中边缘风旋产生的方法

专利号：CN202210586026.3

公布日：2022-11-11

申请人：华虹半导体（无锡）有限公司

一种三维纳微图形的压印方法

专利号：CN201710354498.5

公布日：2017-08-22

申请人：苏州光越微纳科技有限公司

一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪

专利号：CN201921330766.0

公布日：2020-06-02

申请人：甘肃华隆芯材料科技有限公司

一种自动旋涂机

专利号：CN202021709216.2

公布日：2021-08-17

申请人：深圳市隆信达科技有限公司

利用旋涂法制备薄膜材料的方法及装置

专利号：CN201510043072.9

公布日：2015-05-27

申请人：天津森普捷科技有限公司

一种全自动旋涂装置

专利号：CN202211674339.0

公布日：2023-03-17

申请人：长沙一清智能设备有限公司

非晶磁芯微型磁通门传感器的制备方法

专利号：CN201010239122.8

公布日：2010-11-17

申请人：上海交通大学

旋涂成型一体化装置

专利号：CN201811507174.1

公布日：2019-02-19

申请人：中国科学技术大学

旋涂成型一体化装置

专利号：CN201822063850.2

公布日：2020-01-03

申请人：中国科学技术大学

一种光敏胶微凝装置及方法

专利号：CN201710776022.0

公布日：2021-08-13

申请人：上海微电子装备（集团）股份有限公司

一种旋涂机

专利号：CN201420025724.7

公布日：2014-08-20

申请人：京东方科技集团股份有限公司

一种高效的旋涂废液收集杯

专利号：CN202320907364.2

公布日：2023-10-20

申请人：无锡亚迈微电子有限公司

一种快速微机电磁通门芯片制造方法

专利号：CN202110737106.X

公布日：2021-10-01

申请人：上海交通大学

一种蓝光光盘软胶涂覆装置

专利号：CN201320525800.6

公布日：2014-03-05

申请人：江西华文光电股份有限公司

一种疏水光刻胶薄膜的制备方法以及疏水光刻胶薄膜

专利号：CN202110113018.2

公布日：2021-06-04

申请人：宁波南大光电材料有限公司