蚀刻装置以及利用其的蚀刻方法

专利号：CN202111209852.8

公布日：2022-07-15

申请人：三星显示有限公司

蚀刻气体以及蚀刻方法

专利号：CN202280019716.9

公布日：2023-10-27

申请人：株式会社力森诺科

蚀刻气体及其制造方法、以及蚀刻方法、半导体元件的制造方法

专利号：CN202180069821.9

公布日：2023-06-23

申请人：株式会社力森诺科

蚀刻气体及其制造方法、蚀刻方法以及半导体元件的制造方法

专利号：CN202180070335.9

公布日：2023-06-23

申请人：株式会社力森诺科

蚀刻方法及蚀刻装置

专利号：CN201210382207.0

公布日：2013-04-17

申请人：开美科技股份有限公司

具有精修蚀刻功能的蚀刻机

专利号：CN201821549048.8

公布日：2019-10-15

申请人：东莞宇宙电路板设备有限公司

一种用于钛网蚀刻的可翻板蚀刻机

专利号：CN202320879302.5

公布日：2023-07-28

申请人：广德均瑞电子科技有限公司

蚀刻治具、蚀刻装置及蚀刻方法

专利号：CN202011585283.2

公布日：2021-04-09

申请人：芯思杰技术（深圳）股份有限公司

自动补蚀刻方法和装置

专利号：CN202110500757.7

公布日：2022-05-27

申请人：长鑫存储技术有限公司

一种超薄材料蚀刻装置

专利号：CN202110918298.4

公布日：2021-10-22

申请人：昆山元天电子有限公司

一种超薄材料蚀刻装置

专利号：CN202121869988.7

公布日：2022-02-11

申请人：昆山元天电子有限公司

用于眼镜片的小型蚀刻机及蚀刻组件

专利号：CN202123139736.1

公布日：2022-10-28

申请人：潍坊市坊子区蕴德眼镜销售有限公司

一种闪存的存储单元开口的蚀刻方法

专利号：CN201310370318.4

公布日：2015-03-18

申请人：北京兆易创新科技股份有限公司

一种滑动蚀刻设备

专利号：CN202220611532.9

公布日：2022-08-09

申请人：成都拓米智能系统技术有限公司

一种蚀刻装置及电路板加工系统

专利号：CN201920679901.6

公布日：2020-02-04

申请人：深圳市实锐泰科技有限公司