衬底支撑件和衬底台

专利号：CN202180015881.2

公布日：2022-10-11

申请人：ASML荷兰有限公司

衬底支撑模块

专利号：CN201310560032.2

公布日：2014-05-21

申请人：AP系统股份有限公司;三星显示有限公司

衬底支撑件

专利号：CN201922123241.6

公布日：2020-07-07

申请人：应用材料公司

衬底支撑组件

专利号：CN201921932647.2

公布日：2020-09-25

申请人：应用材料公司

衬底支撑件

专利号：CN202021336306.1

公布日：2021-05-18

申请人：应用材料公司

衬底支撑组件

专利号：CN03206396.2

公布日：2006-03-29

申请人：应用材料公司

衬底支撑件

专利号：CN02820630.4

公布日：2005-01-26

申请人：应用材料公司

衬底支撑结构和制造衬底支撑结构的方法

专利号：CN202210802566.0

公布日：2023-01-13

申请人：ASM IP私人控股有限公司

衬底支撑器以及包含所述衬底支撑器的衬底处理设备

专利号：CN201410086935.6

公布日：2016-11-23

申请人：灿美工程股份有限公司

旋转衬底支撑件

专利号：CN202110612556.6

公布日：2021-12-07

申请人：ASMIP私人控股有限公司

支撑衬底的设备

专利号：CN201680038069.0

公布日：2022-03-15

申请人：瓦里安半导体设备公司

衬底支撑设备以及衬底处理设备

专利号：CN201310136374.1

公布日：2014-01-22

申请人：吉佳蓝科技股份有限公司

衬底支撑结构、含有上述衬底支撑结构的反应腔室

专利号：CN201310193545.4

公布日：2013-08-14

申请人：光垒光电科技（上海）有限公司

衬底支撑结构、含有上述衬底支撑结构的反应腔室

专利号：CN201210309006.8

公布日：2013-05-01

申请人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司

衬底支撑结构、含有上述衬底支撑结构的反应腔室

专利号：CN201220429481.4

公布日：2013-03-06

申请人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司