卧式超临界干燥装置以及卧式超临界反应系统

专利号：CN201910690236.5

公布日：2020-10-20

申请人：爱彼爱和新材料有限公司

超临界流体干燥系统及干燥方法

专利号：CN202211204210.3

公布日：2022-12-30

申请人：浙江大学

二氧化硅湿凝胶毡的超临界干燥方法

专利号：CN201980039400.4

公布日：2021-01-29

申请人：株式会社LG化学

超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统

专利号：CN202211338918.8

公布日：2023-03-07

申请人：浙江大学

基板干燥装置

专利号：CN202010501307.5

公布日：2020-12-04

申请人：无尽电子有限公司

一种超临界干燥技术制备燕窝凝胶食品的方法

专利号：CN202110271200.0

公布日：2021-06-18

申请人：广东普萃特医生物工程有限公司

超临界干燥方法以及超临界干燥系统

专利号：CN201110065920.8

公布日：2012-03-21

申请人：株式会社东芝

一种超临界二氧化碳干燥装置及其应用和超临界二氧化碳干燥方法

专利号：CN202110913059.X

公布日：2023-02-17

申请人：爱彼爱和新材料有限公司

基板干燥装置

专利号：CN202010690139.9

公布日：2021-01-19

申请人：无尽电子有限公司

一种超临界干燥装置及超临界干燥设备

专利号：CN202011184978.X

公布日：2022-05-03

申请人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司

晶圆清洗设备和方法

专利号：CN202210860335.5

公布日：2022-10-25

申请人：长江存储科技有限责任公司

用超声联合超临界流体来干燥物品的方法

专利号：CN201010103255.2

公布日：2010-06-16

申请人：河南科技大学

在制备集成电路产品过程中用于干燥构图晶片的组合物和方法

专利号：CN200480043254.6

公布日：2007-05-09

申请人：高级技术材料公司

一种连续式多级联动超临界干燥装置

专利号：CN202220955597.5

公布日：2022-08-23

申请人：厦门市燕之屋丝浓食品有限公司

一种二氧化硅的制备方法

专利号：CN201110006153.3

公布日：2011-04-20

申请人：厦门大学;福建正盛无机材料股份有限公司