工艺配方正确性验证方法及系统、存储介质和电子设备

专利号：CN201811303351.4

公布日：2020-05-12

申请人：长鑫存储技术有限公司

半导体设备中工艺配方的管理方法、管理装置

专利号：CN201410808882.4

公布日：2021-10-15

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

用于设置工艺配方数据的方法和系统

专利号：CN201610587600.1

公布日：2020-03-31

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

半导体工艺配方创建方法、装置、存储介质及电子设备

专利号：CN202310484981.0

公布日：2023-08-29

申请人：粤芯半导体技术股份有限公司

一种工艺配方管理方法、装置、生产设备系统及存储介质

专利号：CN202310601450.5

公布日：2023-08-22

申请人：苏州晶洲装备科技有限公司

半导体工艺执行方法和半导体工艺设备

专利号：CN202010579171.X

公布日：2020-10-16

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

生产设备的工艺配方配置方法及配置系统、存储介质

专利号：CN202011182196.2

公布日：2021-01-29

申请人：常州捷佳创精密机械有限公司

用于发动机装配线的柔性化配方配置方法

专利号：CN201510422756.X

公布日：2018-01-05

申请人：柯马(上海)工程有限公司

半导体制程工艺配方管理方法与系统

专利号：CN201910684316.X

公布日：2022-02-01

申请人：长鑫存储技术有限公司

工艺配方参数的处理方法及装置

专利号：CN202310125391.9

公布日：2023-05-09

申请人：广州志橙半导体有限公司

基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统

专利号：CN201310148657.8

公布日：2017-04-05

申请人：清华大学

半导体工艺的执行方法

专利号：CN202110583705.0

公布日：2023-03-21

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

生产设备的控制方法、装置、系统、设备及介质

专利号：CN202110200922.7

公布日：2022-08-30

申请人：长鑫存储技术有限公司

工艺配方及其生成方法以及生成系统、半导体制造方法

专利号：CN202210039424.3

公布日：2022-05-13

申请人：长鑫存储技术有限公司

半导体制程工艺配方的分配方法、系统、设备及介质

专利号：CN202210656532.5

公布日：2022-08-02

申请人：长鑫存储技术有限公司