一种磁控溅射镀膜机

专利号：CN201720302687.3

公布日：2017-11-28

申请人：王福贞

会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置

专利号：CN200910010112.4

公布日：2009-07-08

申请人：大连理工大学

等离子体增强磁控溅射系统及方法

专利号：CN201610458183.0

公布日：2016-08-17

申请人：重庆科技学院

等离子体增强磁控溅射系统

专利号：CN201720388897.9

公布日：2017-11-07

申请人：重庆科技学院

一种光学镜片模具的专用模仁制备工艺

专利号：CN201410518067.4

公布日：2015-02-04

申请人：惠安县高智模具技术服务有限公司

轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置及方法

专利号：CN201410372795.9

公布日：2015-02-04

申请人：宁夏天马滚动体制造有限公司

一种采用非平衡磁控溅射制备螺纹防咬死涂层的方法

专利号：CN201810098984.X

公布日：2019-11-12

申请人：西安赛福斯材料防护有限责任公司

用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置

专利号：CN201220097087.5

公布日：2012-10-17

申请人：深圳市创益科技发展有限公司

一种玻璃模具的专用模仁的制备工艺

专利号：CN201410518095.6

公布日：2015-02-04

申请人：惠安县高智模具技术服务有限公司

磁控溅射装置

专利号：CN200820030258.6

公布日：2009-06-03

申请人：西安工业大学

一种调控钒薄膜择优取向性的方法

专利号：CN202010884112.3

公布日：2020-12-04

申请人：气相科技（武汉）有限公司

一种非平衡磁控溅射稀土类石墨复合膜及其制备方法

专利号：CN200910304713.6

公布日：2009-12-30

申请人：中国船舶重工集团公司第十二研究所

磁约束磁控溅射方法及利用该方法制备的磁控溅射装置

专利号：CN200810150947.5

公布日：2009-01-21

申请人：西安工业大学

离子束增强磁控溅射渗镀涂层装置及工艺

专利号：CN02110192.2

公布日：2003-03-12

申请人：太原理工大学

一种非平衡磁控溅射稀土多元类石墨复合膜及其制备方法

专利号：CN200910304696.6

公布日：2009-12-30

申请人：中国船舶重工集团公司第十二研究所