衬底

专利号：CN201980049373.9

公布日：2021-02-26

申请人：TDK电子股份有限公司

衬底

专利号：CN201120512360.1

公布日：2012-08-22

申请人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司

衬底

专利号：CN201720388304.9

公布日：2017-12-26

申请人：深圳先进技术研究院

模块衬底及印刷衬底

专利号：CN202010121388.6

公布日：2021-03-26

申请人：铠侠股份有限公司

衬底仓储部、衬底仓储系统和衬底装配设备

专利号：CN202010769385.3

公布日：2021-02-02

申请人：亚席斯自动化系统有限公司

衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法

专利号：CN202210854232.8

公布日：2023-01-17

申请人：株式会社斯库林集团

衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法

专利号：CN202210790732.X

公布日：2023-01-13

申请人：株式会社斯库林集团

衬底-产品衬底-组合以及用于制造衬底-产品衬底-组合的设备和方法

专利号：CN201280073963.3

公布日：2015-05-27

申请人：埃里希·塔尔纳

衬底支撑件和衬底台

专利号：CN202180015881.2

公布日：2022-10-11

申请人：ASML荷兰有限公司

衬底元片及软衬底

专利号：CN200410004057.5

公布日：2004-10-13

申请人：索尼化学株式会社

衬底元片及软衬底

专利号：CN00104696.9

公布日：2000-10-04

申请人：索尼化学株式会社

处理衬底的方法和衬底

专利号：CN201180054221.1

公布日：2016-11-30

申请人：图尔库大学

衬底托盘、衬底定位方法及衬底定位系统

专利号：CN201510585911.X

公布日：2015-11-18

申请人：广东省中科宏微半导体设备有限公司

衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法

专利号：CN202111079496.2

公布日：2022-03-18

申请人：株式会社斯库林集团

衬底、衬底检测方法以及制造元件和衬底的方法

专利号：CN200710108828.9

公布日：2007-12-05

申请人：住友电气工业株式会社