本专利网">发明公开了一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器,其结构包括机体、激光器,激光器设有支撑脚、按键板、光束调节器,本发明的有益效果是:能够通过旋转器在旋转过程中带动推动齿推动收线器上的转轮进行转动,从而带动转杆对拉绳进行缠绕收缩,在拉绳收缩的过程中通过拉绳拉动皮筋向四周拉绳,从而扩大皮筋的直径,皮筋外圈被遮光网遮挡,从而能够保证光束只能够通过光束孔进行照射,以此能够根据需要的光点直径进行刻度板上的刻度对准,从而将光点直径精确到某个数值,使激光器在进行光刻工作时调节切割槽的宽度,从而缩小光刻时产生的误差,同时通过缩小光点直径能够更进一步精确光刻的长度,提高激光器在进行光刻时的精确度。
1.一种电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器,其结构包括机体(1)、激光器(2),所述机体(1)通过螺栓连接于激光器(2)底部,所述激光器(2)通过螺栓连接于机体(1)上表面,其特征在于:/n所述机体(1)设有控制面板(10),所述控制面板(10)通过螺栓连接于机体(1)外表面;/n所述激光器(2)设有支撑脚(20)、按键板(21)、光束调节器(22),所述支撑脚(20)通过螺栓连接于机体(1)与激光器(2)之间,所述按键板(21)通过螺栓连接于激光器(2)外表面上,所述光束调节器(22)通过螺栓连接于激光器(2)外表面。/n
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