本专利网">发明涉及一种具有集成化光路的全光纤电流互感器及其制作工艺,该全光纤电流互感器包括相互连接的光电光路集成模块和调制光路集成模块,当光电光路集成模块和调制光路集成模块在不同基底时,光电光路集成模块和调制光路集成模块为分别封装的两模块,光电光路集成模块的输出尾纤与调制光路集成模块的输入尾纤按0°熔接;当光电光路集成模块和调制光路集成模块在相同基底时,在分光棱镜的端面贴合的第三只准直器输出光轴方向设置有无封装外壳的调制光路集成模块的组件以形成空间光路,光电光路集成模块和调制光路集成模块一起整体封装而成。该全光纤电流互感器具备信噪比高、体积小、安装简易、生产成本低的优点。
一种全光纤电流互感器的制作工艺,其特征在于,包括光电光路集成工艺和调制光路集成工艺,所述光电光路集成工艺,在一基底上,先制作出均无封装外壳的具有光源电气引线的光源芯片以及具有光电探测器电气引线的光电探测器芯片,再将分光棱镜安装在光源芯片输出光以及光电探测器芯片输入光的交汇处,并在分光棱镜的三个端面上均粘贴准直器以便对光进行聚焦和耦合,光源芯片的输出光学端面、光电探测器芯片的输入光学端面分别与其各自对应的准直器之间形成空间光路;所述调制光路集成工艺,在与光电光路集成工艺相同或不同的基底上进行对包括无封装外壳并具有波导电气引线的相位调制器的调制光路的集成;当两集成工艺在不同基底时,所述光电光路集成工艺最后用一段光纤与分光棱镜的端面贴合的第三只准直器进行对准、固定,以作为光电光路的输出尾纤;所述调制光路集成工艺是在制作出均无封装外壳并具有波导电气引线的调制光路的各组件后,通过与相位调制器的光学端面按特定角度进行对准、固定的技术进行调制光路的各组件的连接,且集成的调制光路留有输入尾纤和输出尾纤;对集成的光电光路和调制光路分别进行封装,再将光电光路的输出尾纤与调制光路的输入尾纤按0°熔接;当两集成工艺在相同基底时,在分光棱镜的端面贴合的第三只准直器输出光轴方向设置无封装外壳的调制光路的组件以形成空间光路,通过与相位调制器的输入光学端面对准、固定后依次进行调制光路的各组件的连接,并在两集成工艺完成后将光电光路和调制光路一起进行整体封装。
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