本实用新型公开了一种化学气相沉积设备,包括罐体,罐体内转动连接圆管,圆管外侧设有第一透气孔,圆管一侧转动连接气管,圆管一端固定连接第一链轮,罐体上侧固定连接电机,罐体内固定连接第一挡板,第一挡板下侧固定连接橡胶块,第一挡板下方滑动连接第二挡板,第二挡板设有第三透气孔,罐体底部固定连接加热台。本实用新型的优点:先通过旋转的圆管和叶片,使得反应气体均匀分布在罐体上方,然后向下滑动第二挡板,使的罐体上侧的反应气体通过第三透气孔均匀的流入到罐体下方,与基片反应,使基片表面沉积的薄膜更加均匀,避免了现有设备之间将反应气体通向基片导致反应气体分布不均,产生的薄膜表面不均匀,从而提高了产品质量。
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