本发明公开一种微孔清洗方法,通过激光冲击靶材产生等离子体,将微孔置于等离子体羽中,激光冲击点和微孔轴心连线与入射激光方向夹角在30°-60°之间,所述等离子体羽长度大于微孔长度,宽度大于微孔宽度。本发明采用激光冲击等离子羽的方式对微孔进行清洗,可以避免由于清洗剂产生的再次污染,且仅对微孔内壁的表面起作用而不会侵蚀内部,有效去除杂质或表面氧化。
一种微孔清洗方法,其特征在于,通过激光垂直冲击靶材产生等离子体,将微孔置于等离子体羽中,激光冲击点和微孔轴心连线与入射激光方向夹角在30°‑60°之间,所述等离子体羽长度大于微孔长度,宽度大于微孔宽度。
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