本发明公开了一种便于固定的化学机械抛光设备,一种便于固定的化学机械抛光设备,包括设备主体、第一转轴、第一齿轮、螺纹套筒、电动伸缩板、第二转轴、第三齿轮、螺旋连杆、清洗喷头、抛光台、待抛光半导体、调节阀和出液管,所述设备主体的侧端设置有驱动电机。该便于固定的化学机械抛光设备中设置有限位孔和电动伸缩板,根据不同的待抛光半导体形状,选取与半导体形状相同的限位孔,将待抛光半导体防置在限位孔内,能够对待抛光半导体起到水平方向的固定作用,电动伸缩板能够完成竖直方向上的伸缩移动,能够对待抛光半导体施加向下的挤压力,使待抛光半导体贴合在抛光台上,进行抛光,能够对待抛光半导体起到竖直方向的固定作用。
1.一种便于固定的化学机械抛光设备,包括设备主体(1)、第一转轴(3)、第一齿轮(4)、螺纹套筒(7)、电动伸缩板(10)、第二转轴(12)、第三齿轮(13)、螺旋连杆(14)、清洗喷头(17)、抛光台(18)、待抛光半导体(21)、调节阀(24)和出液管(28),其特征在于:所述设备主体(1)的侧端设置有驱动电机(2),所述第一转轴(3)设置在驱动电机(2)的上端,所述第一齿轮(4)固定连接在第一转轴(3)的上表面,所述第一齿轮(4)的侧端安装有第二齿轮(5),所述第二齿轮(5)的侧端安装有丝杆(6),所述螺纹套筒(7)穿插连接在丝杆(6)的外表面,远离第二齿轮(5)的所述的丝杆(6)的一端固定连接有第一轴承(8),所述螺纹套筒(7)的下端固定连接有连接板(9),所述电动伸缩板(10)设置在连接板(9)的底端,靠近驱动电机(2)的所述设备主体(1)的侧端设置有正反电机(11),所述第二转轴(12)设置在正反电机(11)的下端,所述第三齿轮(13)穿插连接在第二转轴(12)的外表面,所述螺旋连杆(14)设置在第三齿轮(13)的侧端,所述螺旋连杆(14)的下端固定连接有第二轴承(15),所述螺旋连杆(14)的侧端安装有进水口(16),所述清洗喷头(17)固定连接在螺旋连杆(14)的上端,所述抛光台(18)设置在设备主体(1)的内部下端,所述抛光台(18)的上表面设置有固定盘(19),所述固定盘(19)内部设置有限位孔(20),所述待抛光半导体(21)穿插连接在限位孔(20)的内部,所述抛光台(18)的下表面设置有第三转轴(22),所述抛光台(18)的下端设置有集液层(23),所述调节阀(24)设置在集液层(23)的侧端,所述集液层(23)的下表面固定连接有导流管(25),所述导流管(25)的下端设置有回收箱(26),所述设备主体(1)的下端设置有固定装置(27),所述出液管(28)设置在抛光台(18)的上端,所述出液管(28)的末端固定连接有分液装置(29),所述分液装置(29)的下端设置有第一浆料箱(30),所述第一浆料箱(30)的侧端设置有第二浆料箱(31)。
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