[实用新型]一种四极质谱计有效
| 申请号： | 201721254573.2 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN207300973U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 欧雷 | 申请（专利权）人： | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 成飞(集团)公司专利中心51121 | 代理人： | 梁义东 |
| 地址： | 610092 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 四极质谱计 | ||
【权利要求书】：
1.一种四极质谱计，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，其特征在于，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。
2.根据权利要求1所述的一种四极质谱计，其特征在于，所述采样管（2）的进气口通过全金属截止阀（5）与待分析真空系统（6）连接。
3.根据权利要求2所述的一种四极质谱计，其特征在于，所述全金属截止阀（5）与采样管（2）、待分析真空系统（6）均通过CF法兰连接。
4.根据权利要求1所述的一种四极质谱计，其特征在于，所述采样管（2）底端通过全金属角阀（4）与真空泵（7）连接。
5.根据权利要求4所述的一种四极质谱计，其特征在于，所述全金属角阀（4）与采样管（2）、真空泵（7）均通过CF法兰连接。
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