[实用新型]一种辅助测试硅片电阻率的模具有效
| 申请号： | 201821875449.2 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209513913U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 马飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08;G01R1/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试孔 边缘点 中心点 模具本体 硅片 模具 硅片电阻率 辅助测试 本实用新型 电阻率检测 生产成本低 中心放射状 测试效率 点测试法 圆柱形片 测试点 长条状 上表面 圆柱孔 状物 测试 检测 配合 | ||
1.一种辅助测试硅片电阻率的模具，包括模具本体，其特征在于：所述模具本体为圆柱形片状物，所述模具本体上设有测试孔，所述测试孔包括中心点测试孔和边缘点测试孔，所述中心点测试孔为圆柱孔，所述中心点测试孔置于所述模具本体中心部位，所述边缘点测试孔为长条状，所述边缘点测试孔包括四条，所述边缘点测试孔以所述中心点测试孔为中心放射状分布，四条所述边缘点测试孔呈“十”字形分布，所述边缘点测试孔内设有限位装置。
2.根据权利要求1所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述限位装置包括限位挡片和限位弹簧，所述限位挡片置于所述边缘点测试孔内，所述限位弹簧一端连接所述限位挡片，所述限位弹簧另一端连接所述模具本体边缘处。
3.根据权利要求2所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述限位挡片背对所述中心点测试孔的一端连接所述限位弹簧，所述限位挡片正对所述中心点测试孔的一端设有防滑装置。
4.根据权利要求1至3任一所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述模具本体上设有刻度线，所述刻度线以所述中心点测试孔为中心呈环状分布，所述刻度线为多条，所述刻度线之间设有间距L。
5.根据权利要求4所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述间距L的尺寸为1mm。
6.根据权利要求4所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述刻度线处设有标识物。
7.根据权利要求1或2所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述边缘点测试孔距离所述模具本体的边缘处设有间距H。
8.根据权利要求7所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述间距H的尺寸为1mm。
9.根据权利要求7所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述边缘点测试孔距离所述中心点测试孔设有间距D。
10.根据权利要求9所述的一种辅助测试硅片电阻率的模具，其特征在于：所述间距D的尺寸为1mm。
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