[发明专利]一种晶片清洗设备

权利要求书

1.一种晶片清洗设备，包括主机箱(1)，所述主机箱(1)的顶面固定安装有固定架(2)，所述固定架(2)的内部设置有输送带(3)，其特征在于，所述固定架(2)的顶面固定安装有清洗箱(4)与除水箱(5)，所述清洗箱(4)的前表面固定安装有PCL控制器(7)，所述清洗箱(4)与除水箱(5)的一侧表面均贯穿开设有通槽(6)；

清洗组件，所述清洗组件包括转轴(8)，所述转轴(8)的一端延伸至清洗箱(4)的内部，所述转轴(8)延伸至清洗箱(4)内部的一端固定连接有清洗盘(18)，所述清洗盘(18)的底面设置有清洗架(19)，所述清洗架(19)的底面安装有海绵刷(20)，所述清洗箱(4)的顶面固定安装有伺服电机(10)，所述伺服电机(10)的输出轴顶端固定安装有第一皮带轮(11)，所述转轴(8)的外表面固定安装有双头皮带轮(9)，所述双头皮带轮(9)与第一皮带轮(11)之间通过第一传动皮带(12)传动连接，所述伺服电机(10)与PCL控制器(7)电性连接；

除水组件，所述除水组件包括储气箱(13)，所述储气箱(13)固定安装在除水箱(5)的顶面，所述储气箱(13)的底面固定连接有输气管(48)，所述输气管(48)的一端延伸至储气箱(13)的内部，所述输气管(48)的另一端延伸至导气架(49)的内部，所述导气架(49)的一侧表面设置有导气管(50)，所述导气管(50)的顶端设置有喷头(51)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片清洗设备，其特征在于，所述清洗盘(18)的顶面设置有丙酮溶液箱(21)与甲醇溶液箱(22)，所述丙酮溶液箱(21)与甲醇溶液箱(22)分别位于转轴(8)的两侧，所述丙酮溶液箱(21)与甲醇溶液箱(22)均通过安装板(25)固定安装在清洗盘(18)的顶面，所述丙酮溶液箱(21)与甲醇溶液箱(22)的底面均固定连接有连通管(23)，所述连通管(23)的另一端延伸至清洗盘(18)的内部，所述丙酮溶液箱(21)与甲醇溶液箱(22)的一侧表面均固定连接有注液管(24)，所述清洗箱(4)的一侧表面贯穿开设有注液槽(17)，所述注液槽(17)的开设高度与注液管(24)的安装高度相等。

3.根据权利要求2所述的一种晶片清洗设备，其特征在于，所述清洗盘(18)的内部开设有空腔(43)，所述连通管(23)的另一端延伸至空腔(43)的内部，所述空腔(43)的底面为圆拱形结构，所述空腔(43)的内部固定安装有分隔板(44)，所述连通管(23)分别位于分隔板(44)的两侧。

4.根据权利要求1所述的一种晶片清洗设备，其特征在于，所述清洗盘(18)的底面开设有两个封堵槽(27)，两个所述封堵槽(27)的内部均开设有漏液槽(28)，所述封堵槽(27)的内部均活动卡接有封堵板(42)，所述清洗盘(18)的外表面固定安装有两个安装架(26)，两个所述安装架(26)的安装位置与两个所述封堵槽(27)的开设位置对应，所述封堵槽(27)的一侧表面固定安装有固定套筒(38)，所述固定套筒(38)的内部活动套接有套接柱(39)，所述套接柱(39)的一端固定安装有连接板(40)，所述封堵板(42)固定安装在连接板(40)的一侧表面。

5.根据权利要求4所述的一种晶片清洗设备，其特征在于，所述连接板(40)的另一侧表面设置有弹簧(41)，所述弹簧(41)设置在固定套筒(38)与套接柱(39)的外侧，所述弹簧(41)的一端与安装架(26)的一侧表面固定连接，所述弹簧(41)的另一端与连接板(40)的另一侧表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶片清洗设备，其特征在于，所述清洗架(19)的内部固定安装有挡板(29)，所述挡板(29)的顶面贯穿开设有多个通孔(30)，所述挡板(29)的顶面中部固定安装有固定套管(33)，所述固定套管(33)的内部底面固定安装有电磁铁(35)，所述固定套管(33)的顶面向下开设有卡槽(34)，所述清洗盘(18)的内部顶面固定安装有连接柱(31)，所述连接柱(31)的外表面固定安装有卡接板(32)，所述连接柱(31)活动套接在固定套管(33)的内部，所述电磁铁(35)与PCL控制器(7)电性连接。