搜索结果(共计:8条)
专利号:CN202311197950.3
公布日:2023-10-24
申请人:光科芯图(北京)科技有限公司
专利号:CN202311111055.5
公布日:2023-09-29
申请人:光科芯图(北京)科技有限公司
专利号:CN202210539520.4
公布日:2022-07-12
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202210284294.X
公布日:2022-06-24
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202210258353.6
公布日:2022-06-17
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202210284271.9
公布日:2022-06-14
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202210285555.X
公布日:2022-06-14
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN200710063225.1
公布日:2008-07-09
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司